無氧烘箱的工藝要求：

　　1.在外延片表面上涂覆光敏BCB膠，采用光刻的方法在外延片表面形成光敏BCB膠圖形；

　　2.采用等離子體反應(yīng)刻蝕處理外延片表面的光敏BCB膠；

　　3.將刻蝕后的外延片放入真空無氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多升溫保溫的方式，在規(guī)定的時間從室溫升至一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規(guī)定的時間從一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時間；

　　4.隨后增通過輔助的降溫系統(tǒng)（水冷和風冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

　　無氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)可充氮、真空，使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設(shè)有超溫斷開加熱、氧含量檢測、輔助降溫裝置及報警電路，使用安全。

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